быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы

 

быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

• полупроводниковые приборы

EN

• RTCVD
• rapid thermal chemical vapor deposition